FEMTO SCIENCE 진공 플라즈마 판매합니다.[COVANCE]

제조사 : FEMTO SCIENCE

 

모델명 : COVANCE

 

내   용 : 

 

Process Mode	PE / RIE / Dual
Chamber	W.200 x D.220 x H.160 (mm)
Generator	(RF)13.56MHz Max. 300W
MFC	Max. 200 sccm
Gauge Pressure	Atm ~ 5 x 10-4 Torr
Operation	Manual & Automatic
Geometry	W.600 x D.730 x H.750 (mm)

 

상   태 : 최상급

 

가   격 : 협의

 

문의전화 : 010-2264-8356(안명수 부장)

홈페이지 : http://www.kkcop.com