nano view NANOSURFACE PROFILER(비접촉 미세형상측정)

maker:nano system

model:nano view nve-10100

           stage size: 230*230

          1. nikon cf plan 5x/0.13 t1 ∞ /0 epi

          2, nikon 10x/030 d1 wd 7.4

          3, nikon 20x/040 d1 wd4.7

             controller ,lighting system ,software ,Computer .mount

가격:750만원

010-7208-5800

- 비접촉식으로 나노미터 사이즈의 3차원 표면형상을 백색광 간섭계를 이용하여 고정도, 고속으로 측정이 가능
- TFT‐LCD, BLU, PDP, OLED 등 평판표시소자의 미세형상 및 거칠기 측정, 디스플레이 박막의 단차 및 표면형상 측정 

-Surface structure ,thin film Thickness, Accuracy :0.5nm, 

- Specification

 깊이 : 최대 180㎛ 까지
 면적 : 1.28mm ~ 0.64mm
 측정속도 : 2㎛/sec ~ 5㎛/sec