korona RTP-600(반도체급속열처리

MAKER:코닉시스템

MODEL:RTP-600

상태:실사

가격:650만원

010-7208-5800

-RTP 600 시리즈는 생산 및 연구 개발에 사용되는 6 인치 웨이퍼 용 독립형 급속 열처리 시스템입니다.

-공정 온도 범위는 150 ℃ ~1200 ℃이며,

-KORONA RTP600 시리즈는 온도 균일 성이 우수하고 대체적인 ATM & Vacuum 공정이 가능합니다.

RTP:   RAPID THERMAL PROCESSING